Չեմշունալյումինե վաֆլի հղկող թիթեղ/պտտվող սեղանը պատրաստված է բարձր մաքրության 99.7-99.9% ալյումինից: Բարձր մաքրության ալյումինա կերամիկան առանձնանում է բացառիկ կոշտությամբ և գերազանց մաշվածության դիմադրողականությամբ վաֆլիների հղկման համար և պահպանում է մակերեսի լավ ձևը երկար ժամանակահատվածում: Այն ձևավորվում է PIBM-ով: Այն կիսահաղորդչային արդյունաբերության անդամ է՝ իր անզուգական ջերմային և չափային կայունության, ինչպես նաև միկրոչիպային մշակման սարքավորումների խիստ միջավայրերին դիմադրողականության շնորհիվ:
Քիմիական-մեխանիկական պլանարիզացիան (ՔՄՊ), որը հայտնի է նաև որպես քիմիական-մեխանիկական հղկում, կիսահաղորդչային սարքերի արտադրության գործընթացում օգտագործվող տեխնոլոգիա է: Այն օգտագործում է քիմիական կոռոզիա և մեխանիկական ուժեր՝ մշակման ընթացքում սիլիցիումային թիթեղները կամ այլ հիմքային նյութերը հարթեցնելու համար:
CMP սարքավորումները հիմնականում բաժանված են երկու մասի՝ հղկող մաս և մաքրող մաս: Հղկող մասը բաղկացած է 4 մասից՝ 3 հղկող պտտվող սկավառակներից և վաֆլիի բեռնման և բեռնաթափման մոդուլից: Մաքրող մասը պատասխանատու է վաֆլիի մաքրման և չորացման համար՝ վաֆլիի «չորացում և չորացում» ապահովելու համար: Ամբողջ հղկող սարքավորման մեջ ալյումինա կերամիկան կարևոր դեր է խաղում:
Ալյումինա կերամիկան սովորաբար օգտագործվում է վաֆլի հղկող սկավառակներ պատրաստելու համար, որոնք պահանջում են բարձր մաքրություն, բարձր քիմիական դիմացկունություն և մակերեսի ձևի ու կոպտության լավ վերահսկողություն:
Քեմշունի 99.7% Al2O3 կերամիկական հղկող սկավառակը պատրաստված է առաջադեմ կերամիկական նյութերից, որը հարմար է տարբեր նյութերի նուրբ հղկման համար, մասնավորապես՝ փխրուն նյութերի, ինչպիսիք են վաֆլիները, կերամիկան և ապակին, հղկման համար: Մեր կերամիկական հղկող սկավառակը կարող է պատրաստվել տարբեր չափերի՝ ըստ տարբեր հղկման և փայլեցման մոդելների:
Հրապարակման ժամանակը. Մայիսի 30-2025