Կիսահաղորդչային արդյունաբերության արագ զարգացման հետ մեկտեղ, արդյունաբերության մասշտաբները արագորեն աճել են, և կիսահաղորդչային արտադրության սարքավորումները շարունակել են զարգանալ դեպի ճշգրտություն և բարդություն: Քանի որ կերամիկան ունի բարձր կարծրություն, բարձր առաձգականության մոդուլ, բարձր մաշվածության դիմադրություն, բարձր մեկուսացում, կոռոզիոն դիմադրություն, ցածր ընդարձակում և այլն, այն կարող է օգտագործվել որպես սիլիցիումային հղկող մեքենայի, էպիտաքսիալ/օքսիդացման/դիֆուզիոն ջերմային մշակման սարքավորումների, լիտոգրաֆիկ մեքենայի, նստեցման սարքավորումների, կիսահաղորդչային փորագրման սարքավորումների, իոնային իմպլանտացիայի մեքենայի և այլ սարքավորումների մասեր, ուստի ճշգրիտ կերամիկական մասերի հետազոտությունը, մշակումը և արտադրությունը անմիջականորեն ազդում են կիսահաղորդչային արդյունաբերության զարգացման վրա: Դրանց պատրաստման տեխնիկական պահանջները գնալով ավելի են բարձրանում:
Բարձր մաքրության ալյումինա, 99.7%-99.9% ալյումինա։
Բարձր մեխանիկական ամրություն, բարձր մաշվածության դիմադրություն, բարձր էլեկտրական մեկուսացում, բարձր քիմիական կայունություն, լավ ջերմակայունություն և կոռոզիայի դիմադրություն: Ներկայումս կերամիկական հղկող սկավառակային հղկող կիսահաղորդչային սիլիցիումային վաֆլիի օգտագործումը ամենաարդիական և առաջատար հղկման մեթոդն է: Երկկողմանի հղկման գործընթացն օգտագործվում է կտրված սիլիցիումային վաֆլի հղկման համար, և հղկող վաֆլիի որակը բարելավվում է հղկման գործընթացի բարելավման միջոցով (սկավառակի նյութ, հղկող հեղուկ, հղկման ճնշում և հղկման արագություն և այլն): Մասնավորապես, թուջե թիթեղների փոխարեն կերամիկական թիթեղների օգտագործումը թույլ է տալիս խուսափել վաֆլիի հիմնական մակերեսի վրա սպիներից կամ աղտոտումից առաջացած հղկումից, նվազեցնել մետաղական իոնների ներմուծումը, կարող է կրճատել սիլիցիումի հետագա մշակումը, կրճատել հետագա գործընթացի (կոռոզիայի) ժամանակը, բարելավել արտադրության արդյունավետությունը և նվազեցնել սիլիցիումի մշակման կորուստը, զգալիորեն բարելավել սիլիցիումի օգտագործումը:
Բարձր ալյումինե մանրաթելով վաֆլի հղկող թիթեղԿիրառվում է կիսահաղորդչային, նավթային, քիմիական, ֆոտովոլտային, հեղուկ բյուրեղային և այլ արդյունաբերություններում, ինչպիսիք են մեխանիկական մասերը, էլեկտրոնային մասերը, միկրոալիքային ինդուկցիոն սկավառակը, մեկուսիչ նյութերը և այլ մասերը, կիսահաղորդչային սարքերը, վակուումային սարքավորումները, հեղուկ բյուրեղների արտադրության սարքավորումները և այլ մասերը: Մեծ չափի և բարձր մաքրության ալյումինա կերամիկան կարևոր կիրառական արժեք ունի շափյուղայի արդյունաբերության և կիսահաղորդչային չիպերի արդյունաբերության մեջ: Այն շափյուղայի և կիսահաղորդչային սիլիցիումային վաֆլերի քիմիական մեխանիկական հղկման (CMP) հիմնական հենարան և սպառվող նյութ է: Մեծ չափի և բարձր մաքրության ալյումինա կերամիկան կարող է օգտագործվել նաև որպես ալյումինա հիմք LCD-ի համար:
Հրապարակման ժամանակը. Հունիս-27-2024